中古 EBARA Frex 300 #9099440 を販売中

EBARA Frex 300
ID: 9099440
ウェーハサイズ: 12"
Tungsten CMP system, 12".
EBARA Frex 300は最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高性能な通信、コンピュータエレクトロニクス、航空宇宙、医療、自動車、その他の産業部品の製造に使用される研削、ラッピング、研磨作業に最高の精度と高精度を提供します。EBARA FREX-300は、ユーザーフレンドリーなWindowsベースのインターフェースを備えており、より大規模で複雑なアプリケーションに適した高度なプログラマビリティオプションを多数備え、簡単で直感的なナビゲーションと操作を可能にします。このシステムは、さまざまなウェーハや基板材料で使用するために設計されており、多くのツーリングやアクセサリを使用することで、ユーザーは特定のタスクに合わせてセットアップをカスタマイズできます。ウェーハホルダーステージ、研削・ラッピングホイール、研磨ホイール、研磨パッド、研磨液、真空発泡ユニットで構成されています。F-REX300はまた回転式、ぐらつき、および螺線形の粉砕を含む多数の粉砕モード、またプロセスをスピードアップするための速い軸線が装備されています。ウェーハホルダーステージは、最大8インチ、100mm、 200mmのウェーハを保持するように設計されています。段階およびガイドは操作の間に堅い粉砕および磨く正確さを維持することを保障する高級なアルミニウムおよびステンレス鋼から組み立てられます。ダイヤモンドによってめっきされる研摩剤の広い範囲と供給される粉砕およびラッピング車輪は速く、容易な粉砕操作のために作ります。研磨ホイールとパッドは、材料の損傷を最小限に抑えたウェーハと基板の均一な研磨を提供するように特別に設計されています。最後に、工具の真空発泡ユニットは、研削および研磨プロセス中の優れた組織保護を提供し、ラッピングおよび研磨面を汚染する可能性のある粉塵粒子を除去します。これにより、プロセス残留物がなく、よりクリーンで精密な表面仕上げが可能になります。FREX-300は、高品質で精密なウェーハ研削、ラッピング、研磨資産であり、幅広い複雑な研磨用途において、オースタリング性能と一貫性を提供します。
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