中古品 マスクアライナー を販売中
マスクアライナー（mask aligner）とは、半導体産業において集積回路（IC）の製造に使用されるリソグラフィ装置の一種である。これは、目的のパターンを含むマスクを基板、典型的にはシリコンウェーハに正確に揃えて露出させるように設計されています。マスクアライナーはフォトリソグラフィープロセスにおいて重要な役割を果たします。マスクアライナーは通常、光源、マスクホルダー、ウェーハの位置決めステージ、アライメント光学など、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。光源は、通常、紫外線の形で、ウェーハ上のフォトレジストを公開するために必要な照明を提供します。マスクホルダーは、露出時にマスクをしっかりと固定し、基板との正確なアライメントを確保します。ステージはウェーハの正確な位置決めを可能にし、アライメントオプティクスはウェーハ上のターゲット位置へのマスクパターンのアライメントを可能にします。マスクアライナーの主な利点は、高精度と解像度を達成する能力であり、ウェーハ上の複雑なパターンの生産を可能にします。この精度は、最終製品の性能と機能に直接影響を与えるため、IC製造にとって重要です。また、マスクアライナーは通常、大量のウェーハを扱うことができ、大量の製造に適しています。結論として、マスクアライナーは半導体業界において不可欠なツールであり、マスクパターンをウェーハに正確にアライメントして露出させることができます。ICの高精度・高解像度化は、ICの生産において非常に重要であり、技術の継続的な発展に貢献しています。
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