中古品 イオンミリング を販売中
イオンミリングは、材料科学やエンジニアリングの分野で使用される高度な分析と特性評価のためのサンプルを準備するための専門技術です。これは、制御された正確な方法で材料を除去するために、サンプル表面に高エネルギーイオン、典型的にはアルゴンイオンを爆撃することを含みます。プロセスは、大気中のガスからの干渉を防ぐために真空チャンバーで行われます。サンプルホルダーまたはステージ上に配置されたサンプルを傾けて回転させ、サンプルのさまざまな領域をイオンビームに露出させることから始まります。イオン源は、試料表面に向かって加速されるイオンのビームを放出します。高エネルギーイオンはスパッタリング、試料表面からの原子が脱落し、放出されるプロセスを引き起こします。スパッタされた原子は、試料から離れてコレクターまたはチャンバーからポンプで送り出されます。イオンビームのエネルギーと角度を制御することにより、スパッタリングの速度と方向を調整して、サンプル表面全体の材料を均一に除去することができます。イオンミリングは、他のサンプル調製技術に比べていくつかの利点があります。これは、損傷やアーティファクトを導入せずに材料を除去するためのクリーンで正確な方法を提供します。特に、透過型電子顕微鏡（TEM）の目的の厚さまでサンプルを薄くすることや、走査型電子顕微鏡（SEM）を用いて分析する材料の断面を作成することに役立ちます。イオンミリングは、表面の研磨や平滑化、汚染物質や表面層の除去にも使用できます。
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