中古 EBARA Frex 300 #293652216 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293652216
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
W-CMP System, 12"
(4) ASYST S2 load ports
Chemical connections (Bottom)
Exhaust connections (Top)
Gas connections (Bottom)
Drain connections (Bottom)
Polisher (L/R):
AL Polishing head, 12"
Endpoint: TCM and friction
Platen type: Ceramic (SIC), 10-150 RPM
Platen pad conditioner: Sweep driven, Scan dresser disc, 4”
CLC Slurry delivery
Slurry line1: ASAHI 25-250ml / min
TOKYO KEISO Platen cooling flow monitor
Platen cooling temperature monitor
Dresser DIW Flow meter: Flow range 1.0-1.5 L/min
Atomizer
Cleaner:
Type 1: Roller brush
Chemical delivery type: (1) Chem CLC 0.0-1.0 L/min
Upper flow meter: 0.0-1.0 L/min
Pencil brush spin rinse dryer
Options:
Robot D / R / L: YASKAWA
Status lamp (RYGB, Front / Rear)
Monitor 1: Front
Monitor 2: L-Side
Monitor 3: R-Side
EPD monitor: R-Side
(2) CPU:
Touch panel drawing and control version: 7.5.00
ME10 / ME20
Communication:
Controller (Logic): VME
Controller (process database): Touch panel
2001 vintage.
EBARA Frex 300は半導体産業で使用するために設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。精度が極めて高く、0。5 umまでの仕上げが可能で、効率的な生産のための高速操作が可能です。このシステムは、最適な結果を得るために超低荷重研磨ユニットを使用しており、幅広いタイプやサイズの材料を処理するための可変速度プログラム可能なターンテーブルを備えており、最大限の柔軟性を可能にしています。ステンレス、耐腐食性ケージ、層流フードを備えたクリーンルーム環境での動作を想定して設計されています。6軸ロボット、Advanced CNCグラインダー、ツインディスクラッピングアームで構成されています。このロボットは、一度に4つのウェーハを操作してウェーハを移動することができ、2つの線形軸と2つの回転軸を備えています。それはサーボモーターを通してCNCの粉砕機と統合され、精密な制御およびより速い処理速度を提供します。CNC研削盤には、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に最適な高精度テーブルが含まれています。このツインディスクラッピングアームは、平面と輪郭のフェースプレートを使用して、平面と曲面の両方を正確に研磨し、精密な制御を可能にし、サイクルタイムを最小限に抑えます。このツールは、さまざまなアプリケーションのカスタマイズ可能なオプションも提供しています。ウェーハプラットフォームの異なるサイズに対応するように構成することができ、ウェーハクリーニングステーション、圧力制御バルブ、ウェーハの効率的な転送のためのエアナイフが装備されています。さらに、異なるラッピングディスク、チャックジョー、その他のアクセサリなどの追加機能を使用してアセットを拡張できます。EBARA FREX-300は、簡単かつ簡単に操作できるように設計されています。オペレータの安全と保護のためのさまざまな安全機能を提供し、高精度、信頼性、効率で優れた製造結果を提供することができます。
まだレビューはありません