中古品 エリプソメータ を販売中
楕円計は、薄膜の厚さと光学特性を高精度かつ高精度で測定するために使用される高度な光学機器です。これらの装置は、試料表面から反射した光の偏光状態の変化を解析する楕円測定の原理を利用しています。楕円計の基本的なセットアップは、光源、偏光器、サンプルステージ、アナライザ、および検出器で構成されています。光源は偏光のビームを発し、試料表面に向けられます。光は試料と相互作用するため、薄膜の存在により偏光が変化します。分光器は、偏光の変化を測定し、フィルムの厚さ、屈折率、およびその他の光学特性に関する情報を提供します。エリプソメータは、半導体製造、光学コーティング、材料科学などの様々な分野で一般的に使用されています。半導体ウェーハ、光学レンズなどの薄膜の研究に特に適しています。楕円測定の主な利点の1つは、サンプルとの物理的な接触を必要としないため、非破壊的な性質である。これにより、フィルムや基板を損傷することなく、測定と分析を繰り返すことができます。最新の楕円計は、楕円測定データを分析し、出力パラメータを提供するために、高度なアルゴリズムとソフトウェアを使用することがよくあります。これらの装置は、高スループット測定のために自動化され、幅広いサンプルサイズと材料に対応できます。結論として、楕円計は、厚さ、屈折率、およびその他の光学特性の面で薄膜を特徴付けるための貴重なツールです。その精度、非破壊性、汎用性は、様々な業界の研究、開発、品質管理に不可欠です。
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