中古 EBARA Frex 300 #9384477 を販売中

EBARA Frex 300は、シリコン、ガリウムヒ素、クォーツウエハを含む全ての材料で300mmウェーハ研削、ラッピング、研磨用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。EBARA FREX-300は使いやすく、最新の自動ウェハ準備技術を搭載しています。F-REX300は完全に自動化されたウェーハ処理システムを備えており、迅速かつ正確なウェーハ準備を保証します。ウェーハ上で高精度な表面仕上げが可能な強力な研削・ラッピング・研磨モジュールを搭載しています。研削、ラッピング、研磨工程で高速回転する高精度スピンドルを使用しています。さらに、F-REX 300には、効率的な材料除去を可能にする可変研削方向ユニットが装備されています。可変的な粉砕の方向機械によって、EBARA F-REX 300は容易に円形および非円形のウエハを同様に処理できます。FREX-300はオートセンシングとオートサイクリング機能も備えています。オートセンシング機能は、処理されるウェーハの種類とそのサイズと厚さを検出することによって機能します。これにより、ウエハの特性に応じて最適なパラメータ内で処理されます。オートサイクリング機能により、ウェーハローディングキャリッジから研削、ラッピング、研磨チャンバー、およびその逆にウェーハを正確かつ効率的に転送できます。Frex 300は、生産性と効率性を最大限に高めるために設計されています。大小のウエハを同じプロセスサイクルで処理することができます。1回に複数のウェーハを処理でき、1サイクルに最大10個のウェーハを処理できます。また、EBARA F-REX300は低摩耗、メンテナンスの軽減、長寿命化を目指して設計されています。安全性の面では、EBARA Frex 300はウェーハの取り扱いと加工のためのレベル5の安全ツールを備えています。さらに、人間工学に基づいて設計されたトレイが装備されているため、使いやすいです。これにより、ローディングおよびアンロード処理中にウェーハを手動で処理することによる潜在的な害を防ぎます。全体として、EBARA FREX-300は信頼性が高く、効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。シングルウエハと複数のウエハ処理用に設計されており、高精度・高精度を実現しています。F-REX300の特徴は、大量のウェーハ生産に最適なソリューションです。