中古 EBARA Frex 300 #293761442 を販売中

EBARA Frex 300ウェハ研削、ラッピング&研磨装置は、高度な半導体製造のためのオールインワン処理ソリューションです。この最先端のシステムは、直径300mmまでのウェーハの高精度な研削、ラッピング、研磨を可能にする多軸運動が可能です。機械内部に開発されたターレットスピンドルは乱流を低減し、動作全体にわたって正確な動きを生み出し、高い歩留まり精度と優れた仕上がりを保証します。単位の中で、平らな、片面の粉砕車輪が一貫したプロフィール、幾何学およびサイズを保障するためにウェーハを精密に粉砕するのに使用されています。機械のマニピュレータは、各ウェハの安定性と再現性を保証します。内蔵の水冷ツールを使用して、動作中に部品を冷却し、熱応力を低減します。幅広い研削ホイール、ラップ、ポリッシュを使用し、ジョブプログラミング中に素早く変更することができ、柔軟性を最大限に高めます。ラッピングは、研磨材を含む「プラッタ」と呼ばれる事前にプログラムされた回転ラップメートを使用して行われ、優れた平坦性を生み出します。研磨ステーションは、滑らかで鏡のような表面仕上げを達成するための最終ステップを設定します。操作の後で、資産は自動的にサンプルを点検し、確認するために品質管理のプロシージャを遂行します。これは、データを格納された標準と比較して、すべてのパラメータが許容範囲内であることを確認することによって行われます。EBARA FREX-300は、人間工学に基づいたデザインで、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。ユーザーは、最小限の労力で簡単に設定やプログラムジョブを選択することができます。堅牢な設計により、メンテナンスは最小限に抑えられ、ケーブルレス接続により迅速かつ簡単にセットアップできます。このモデルの自己診断機能により、すべてのコンポーネントが正常に機能していることが保証され、オペレータは機器の性能を監視し、手元の作業に最適化することができます。F-REX300は300mmまでのウェーハの高精度な粉砕、ラッピングおよび磨くことのための理想的なシステムです。正確さ、柔軟性、信頼性を直感的なユーザーインターフェイスと組み合わせ、効率的かつ正確な操作を可能にします。