中古 EBARA Frex 300 #293597723 を販売中

ID: 293597723
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
CMP System, 12" 2004 vintage.
EBARA Frex 300は、優れた性能と信頼性を提供する高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。EBARA FREX-300は、基板の損傷を最小限に抑えながら、可能な限り最高レベルの表面平滑化を実現する3段階プロセスを採用しています。ウエハ研削、ラッピング、研磨工程の第一歩は研削です。これには、ホイールを使用してウェーハ表面を目的のサイズと形状まで粉砕する必要があります。2番目のステップは、研磨スラリーを使用して研削プロセス後に残留欠陥を平らにして滑らかにするラッピングです。最後のステップは磨くことです、これは平滑化と表面仕上げのさらに細かいレベルを提供します。F-REX300は、さまざまな用途に対応するために、幅広い機能を備えて設計されています。それは精密および正確さを提供するためにいろいろな車輪の直径および研摩のサイズと使用することができます。調節可能な研削深さと接触圧力により、望ましい表面仕上げが一貫して達成され、ウェーハの損傷を最小限に抑えます。このシステムには、プログラム可能なコントロールパネル、ホイール速度および方向制御、およびワークに損傷がないようにするさまざまな安全遮断システムなど、さまざまな制御が含まれています。Frex 300は、特定のアプリケーション要件に対応するためにカスタマイズすることもできます。高性能FREX-300は、微細な表面と粗い表面の両方を生成することができます。半導体、太陽光技術、ウェーハの薄型化、ウェーハ研削に最適です。優れた性能により、EBARA F-REX 300はあらゆるタイプのウェーハ研削、ラッピング、研磨に容易に対応できます。
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