中古品 露光装置 を販売中
露光システム装置とは、半導体製造およびリソグラフィープロセスの分野で使用されるデバイスや機械の範囲を指します。これらのシステムは、フォトレジストコーティングされたウェーハを特定の光パターンにさらすように設計されており、回路設計をウェーハの表面に正確に転送することができます。露光システム装置は、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。1つ目は光源で、通常はレーザーまたは必要な波長の光を放射する水銀アークランプです。この光は、その強度、偏光、およびスペクトル特性を制御するために、一連のミラー、レンズ、およびフィルターを介して導かれます。その後、光はレチクルに焦点を当て、ウェーハに移すパターンが含まれています。レチクルは洗練されたアライメントシステムを使用して正確なパターン複製を保証します。さらに、露光システム装置には、露光プロセス中のウェーハの正確な移動と位置決めを可能にする高度なステージシステムが組み込まれています。露出パラメータを制御するために、これらのシステムは、露出時間や線量などのさまざまなパラメータをリアルタイムで監視および調整できるソフトウェアおよびコンピューター制御システムを採用しています。これにより、一貫した信頼性の高い露出結果が保証されます。露光システム装置は、高品質の集積回路を構築するために必要な精密かつ再現可能な光の露出を提供する、半導体製造において重要な役割を果たします。この装置の革新により、デバイスの小型化、歩留まりの向上、生産スループットの向上が可能になりました。全般的に、露光システム装置は半導体製造工程において極めて重要な部分であり、ウェーハ上の複雑な回路パターンを最大限の精度と精度で作成することができます。
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