中古 EBARA Frex 300 #9182740 を販売中
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ID: 9182740
ウェーハサイズ: 12"
CMP System, 12"
Components:
(1) Loadport (Foup): 1
(1) Loadport (Foup): 2
(1) Loadport (Foup): 3
(1) Loadport (Foup): 4
(1) Mainbody: Load unload unit
(1) Mainbody: Cleaner unit
(1) Mainbody: Polish unit: L
(1) Mainbody: Polish unit: R
(1) TCM & Noba monitor unit
(1) DHF Supply unit
(1) Power supply unit
(1) SC-1 Supply unit
(1) Slurry delivery unit
(1) Parts box: 1
(1) Parts box: 2
(1) Parts box: 3
(1) Parts box: 4
(1) Poli head: R
(1) Poli head: L
(1) Dresser: R
(1) Dresser: L
(1) Punching jig
(1) Poli jig
(1) Foot plates
(1) Cable pallet: 1
(1) Cable pallet: 2
(1) Cable pallet: 3
(1) Pipe: 1
(1) Pipe: 2
(1) Pipe: 3
(1) Pipe: 4
(1) Pipe: 5
(1) Roller tool
(1) Upside panel: 1
(1) Upside panel: 2
(1) Upside panel: 3
(1) Upside panel: 4
(1) Upside panel: 5
(1) Upside panel: 6
(1) Upside panel: 7
(1) Upside panel: 8
(1) Backside panel: 1
(1) Backside panel: 2
(1) Backside panel: 3
(1) Backside panel: 4
(1) Backside panel: 5
(1) Poli panel: 1
(1) Poli panel: 2
(1) Poli panel: 3
(1) Poli panel: 4
Parts box 1:
(1) Fitting jig
(1) Poli L,R Docking bolt
(1) Clean & poli docking bolt
(1) Poli L,R Shutter cover
(1) Poli & clean L,R Side cover
(1) Poli L,R Cooling water 1,2
(1) Poli L,R drain
(1) CL1 R-Side drain
(1) CL1 L-Side drain
(1) Poli L,R Side drain 1,2
(1) CL Drain pan drain
(1) CL R Side drain pan drain
(1) CL2 R Side drain
(1) CL2 L Side drain
(1) CL & EFEM Docking bolt
(1) CL 1,2 L Side
Parts box 2:
(2) Exhaust pipe
(1) Road cell
Parts box 3:
(1) Special jig
(1) Diar gage jig
(1) Pad jig
(2) Use the drive for the lift shaft
(1) Centol ling jig
(1) M6-11
(1) Sfc003610
(1) Sfc003615
(1) Position fixture
(1) 70735401
(1) C-6200-192
(9) Other parts
Parts box 4:
(1) Side panel-L braket
(1) Side Panel-R braket
(1) Side panel-L
(1) Side panel-R.
EBARA Frex 300は、半導体ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、直径6インチまでのウェーハの制御裏面加工用に構築されています。このシステムには、320mmの主研削ホイール、単軸サーボドライブユニット、および2つの6インチ真空チャックが装備されています。独自の研削工程は、切削深さ、送り速度、密度などのプロセス要因を変調するダイヤモンド研磨ホイールを採用し、ウェハ上の優れた平面化を実現しています。ウエハ全体に均一な接触力を与えるアバットメントミリング技術を採用した独自の研削ホイール設計により、効率的な研削時間を実現しています。ラッピングプロセスは、2つの6"真空チャックを正確に同期させるダイレクトドライブマシンによって制御されます。これは、サンプルサイズに基づいてラッピングプロセスを最適化するクローズドループ自動サーボモータ制御を備えた低振動ループドライブツールを備えています。ラッピングプロセスは、制御された表面テクスチャで高品質の表面仕上げを生成し、優れた平面性と特徴定義を提供します。最後に、ECU制御のDCサーボモータで駆動するEBARA FREX-300の研磨ホイールで研磨を行います。特定のウェーハ表面に対して正確な圧力制御と動的性能を提供することができます。要するに、F-REX300は優れた平面性と特徴定義を提供する強力なウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。低振動ループ駆動モデル、ECU制御DCサーボモータ、ダイヤモンド研磨ホイールにより、信頼性の高い性能と精度を備えています。この装置は、高精度の半導体ウェーハ製造業界の要求に応えるように設計されています。
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