中古 EBARA Frex 300 #9044488 を販売中
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EBARA Frex 300は半導体産業のために設計されている高精度のウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く装置です。この機械は優秀な表面の仕上げおよびplanarizationの部分を提供する機械および化学磨く容量を両方提供します。EBARA FREX-300は、SPCとFDCの全機能を備えた自動化システムです。8軸モーションコントロールユニットを採用しており、素早く精密な表面研削、ラッピング、研磨が可能です。このマシンは、バッチ生産プロセスまたはインライン生産ラインのいずれかに柔軟に構成できます。この機械は、研削および研磨プロセス中にウェーハを確実に保持する特許取得済みのウェーハサスペンションツールを使用しています。F-REX300は300mmまでのウェーハに対応可能なハイパワードライブヘッドを搭載しており、800Gのように細かいグリットで両面に研磨・研磨が可能です。それは優秀な磨かれた表面の終わりを保障する高精度の磨くパッドを含んでいます。EBARA F-REX 300は、高いサイクルレートで高精度でスムーズなプロセス結果を得るために設計されています。これには、デブリのトラップやopto-sensorシステムなど、いくつかの安全機能があり、正確で繰り返し可能な結果を得ることができます。このマシンはLinuxベースのCNCコンピュータによって駆動され、ウェーハ処理プロセスを完全に自動化できます。F-REX 300には、信頼性と再現性に優れたウェーハのローディングと位置決めのための真空チャックも装備されています。この資産は、シリコン、ヒ素ガリウム、ダイヤモンドなど、さまざまなウェーハ材料を扱うように設計されています。また、低い機器のメンテナンスとサービスコストを提供するように設計されています。さらに、Frex 300はEco Mark認定を受けており、必要なすべての環境および安全基準を満たしています。FREX-300は、スピード、精度、柔軟性を1台のパワフルなマシンに統合したウエハ研削、ラッピング、研磨ソリューションです。優れた表面仕上げと平面化により、EBARA F-REX300は半導体産業の生産ニーズに最も適しています。
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