中古 EBARA Frex 300 #9390393 を販売中

EBARA Frex 300は欠陥のない、高精度、および高い均一ウェーハの準備を行うように設計されている高度のウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く装置です。このシステムの革新的な技術は、精密研削、表面の均一性を高めるための低損傷ウエハコンディショニング、および他の処理ステップへの簡単な統合を組み合わせたものです。このユニットは、高度なプロセス制御技術と適応境界制御技術を活用することで、ウェーハ調整プロセスのトータルサイクルタイムを大幅に短縮します。EBARA FREX-300には、0.25µmの単軸ステージ、クローズドループ制御、3ポイントサポート、高度な真空機などが装備されています。これにより、高精度で高精度な表面研磨が可能になり、ウェーハのオフライン配置とプロセスの再現性が向上します。さらに、このツールは、アダプティブ研削、ラッピング、研磨モジュールを使用して、マルチステッププロセス用に自動化できます。アセットの主なコンポーネントには、研削とラッピングヘッド、研磨ヘッド、2つの手動および2つの電動回転ステージ、研磨フィルム、プラテン、研磨ソリューションがあります。研削ヘッドと研磨ヘッドを2つのマニュアルと2つの電動回転ステージに組み合わせることで、ポリッシングフィルム、プラテン、ポリッシュソリューションを同時にウェハに適用することができます。これにより、トータルサイクルタイムを最小限に抑え、高精度で高精度なコンディショニングを実現します。F-REX300は、独自の適応境界制御モジュールも備えています。このモジュールは、ウェーハ加工条件に応じて研削、ラッピング、研磨窓の限界を動的に調整することで、トータルサイクルタイムを効果的に短縮します。これにより、低損傷ウェーハのコンディショニング、高いプロセス再現性、信頼性の高いウェーハのオフライン配置が保証されます。この装置は、エッチング、レジスト除去、コーティング、リソグラフィなどのさまざまな産業プロセスに組み込むことができます。これらのプロセスはすべて、Frex 300を使用して簡単に実装できます。さらに、適応境界制御モジュールは、プロセス境界を制御するためにプログラムされたソフトウェアであり、ユーザーに完全な自動化されたプロセス自動化を提供することができます。EBARA F-REX300は、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムで、高精度で優れた表面均一性を提供しながら、プロセスの自動化を提供するように設計されています。このアダプティブバウンダリコントロールモジュールは、サイクルタイムとプロセスの難易度を低減し、ウェーハのコンディショニングをさらに最適化します。プロセス制限の調整から複数のプロセスの制御まで、FREX-300は業界をリードする信頼性の高い結果を求めるユーザーにとって優れたツールです。