中古 EBARA Frex 300 #9142699 を販売中

EBARA Frex 300は、幅広い加工要件に対応した精密ウェーハ研削・研磨装置です。ウェーハの高効率研削・研磨が可能な振動運動機構を採用しています。この設計は、1ミクロン未満の繰り返し精度を提供することができます。また、0〜60RPMの全変速制御を備えています。EBARA FREX-300は200mmから300mmまでのさまざまなウエハのタイプおよびサイズに適しています。Si、 GaAs、 GaN、 GaSb、 InP、 InSb、および炭化ケイ素（SiC）などのさまざまな材料を処理できるように設計されています。また、ダイヤモンドスラリー、研磨パッド、ラッピングフィルム、微細研磨材など、研磨用のさまざまな研削ホイールや異なる材料とも互換性があります。F-REX300には、強力な可変周波数ドライブと、すべてのRPMで最大トルクを維持するための段落ユニットが装備されています。この機械は一貫した、有効な粉砕プロセスを保障し、またウェーハを過剰に強調することを防ぎます。これは、迅速かつ正確なウェーハの位置決めのための可変速度油圧ツールが含まれています。アセットには、外部冷却モデルを制御する出力も備えています。F-REX 300は、振動を最小限に抑え、ウェーハ表面の平坦性を維持するように設計されたフレームジオメトリを備えています。基板ホルダー、ラッピングヘッド、研削アームを装備し、効率的な研削とラッピングを実現します。これは、機械をすばやく停止させる統合されたEストップなど、いくつかの安全機能で設計されています。全体として、EBARA F-REX300は、精密ウェーハ加工のための信頼性の高い効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。1ミクロン以下の繰り返し精度で様々なウエハサイズや材料を効率的に処理することができます。さらに、ユニットは安全な動作環境を確保するために、いくつかの安全機能を備えて設計されています。