中古 EBARA Frex 300 #293606132 を販売中
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ID: 293606132
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
CMP System, 12"
EFEM (Load/Unload):
(4) ASYST Load ports
YASKAWA Electric robot
Position control: Motor + Ball screw
Dry robot
Wafer transfer:
(2) Turn overs (R/L Side)
(2) Pushers (R/L Side)
(4) LTP Linear stages (R/L Side)
(2) Lifters (R/L Side)
Wafer stage (R/L Side)
Wet robot
Polishers:
(2) Top ring normal heads
(2) Buffing tables
Slurry line
Chemical (CL) connection
Return Line
(2) Dressers (R/L Side):
Diamond pattern type
Disk type: Plate
(2) Tables (R/L Side):
Material stainless steel
Lapping surface
Motor
(2) Cleaners:
1st Cleaner:
(2) Roll scrubs
(2) Megasonics
Wafer roller: Duro 90
SC-1 < 60°C
2nd Cleaner (Pencil and SRD Unit):
(2) Roll scrubs
Megasonic
Power control unit:
Power control
(4) Drivers:
Head rotation
Head swing
Operation controller (ETC):
Hardware:
VME Bus, board computer
Main CPU: 68 Series 32 Bit
2001 vintage.
EBARA Frex 300は、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。表面の粗さ、表面の平坦さおよび厚さの堅い制御の片面および/または両面磨かれたウエハを作り出すように設計されています。超精密な研削、ラッピング、研磨を行う場合に優れた制御性を提供します。EBARA FREX-300は、高度なデジタルコントロールユニットを備えており、操作中の研削、ラッピング、または研磨プロセスを正確に制御できます。それは滑らかな、低振動および高速回転を提供し、均一な結果を保障するのを助ける高出力ソニーの紡錘モーターを含んでいます。機械はまた滑らかな、振動なしの粉砕、ラッピングまたは磨く操作を可能にする高度の空気軸受けを特色にします。F-REX300は、3軸ステージモジュールを備えた6軸ロボットモーションツールで動作します。堅牢なロボットアセットは、再現可能な結果を得るために、正確かつ再現可能な自動研削、ラッピング、または研磨操作を提供します。ロボットモーションモデルは、プロセス制御と安全性を高めるために完全に囲まれています。この装置には、研削、ラッピング、または研磨操作をカスタマイズするために使用できる統合ソフトウェアコンポーネントが含まれています。統合されたソフトウェアにより、粉砕パラメータを簡単かつ迅速にカスタマイズできます。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、システム操作を簡単に制御および監視できます。また、ソフトウェアは、ユーザーが後でレビューのための過去の研削および/または研磨操作からのデータを保存することができますデータストレージユニットが含まれています。機械は粉砕、ラッピングおよび磨く消耗品の広い範囲が装備されています。消耗品は、一貫した反復可能な結果を提供するように設計されています。研削工具は、粗研削、微細研削、ラッピング、研磨など、さまざまな工程のためのさまざまな材料から作られています。ラッピングと研磨ツールは、セラミックや多結晶ダイヤモンドのような弾力性のある材料から作られており、均一な結果を保証します。EBARA F-REX300は、オプションの研磨ストレージカセットと研磨カセットの2つの異なるアプリケーション固有のコンポーネントも備えています。研磨カセットは、研削材の容易なローディングとアンロードのために設計されています。研磨カセットは、正確で再現性のある結果を可能にする研磨剤の均一なアプリケーションを提供するように設計されています。Frex 300は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に制御できるように設計された、高性能なウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールです。高度なデジタル制御資産、高出力ソニーのスピンドルモーター、エアベアリングとロボットモーションモデル、統合ソフトウェアコンポーネント、および研削、ラッピング、研磨消耗品の範囲を備えています。2つのアプリケーション固有のカセットにより、研削材と研磨剤を簡単にロードおよびアンロードでき、一貫性のある反復可能な結果が得られます。
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