中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #192508 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、半導体業界の品質管理と欠陥検出用に特別に設計されたウェハテストおよび計測機器です。光干渉法、レーザー散乱法、電子後方散乱回折など、ウェーハ表面の地形を測定する複数の技術を使用しています。KLA 6200 Surfscanには、データ収集および分析に必要なウェーハを正確に測定、位置付け、スキャンするサンプルステージがあります。これは、必要に応じて自動ウェハハンドラを使用して行うことができます。TENCOR 6200 Surfscanの光干渉技術は、コヒーレント光によって生成された干渉パターンを使用して、ウェハ表面の3D地形図を生成します。次に、このデータを使用して、平坦度、ステップ高さ、ヒロケーター、粗さなどの多くの表面パラメータを測定します。レーザー散乱測定技術は、光と表面の相互作用に基づいて動作します。散乱光の強度とウェーハの粗い表面特性との関係から測定を行います。電子後方散乱回折（EBSD）は、材料の格子から電子を回折してサンプルの微細構造を決定するために使用されます。PROMETRIX 6200 Surfscanは300mmおよび200mmウェーハを含むウェーハ材料およびサイズの多様な処理が可能です。このユニットには、可変ビームスキャナ、光干渉分解能の最適化、ウェーハレポートの分析と生成のためのソフトウェアパッケージなど、いくつかのオプション機能もあります。また、衝突検出、サンプルを保護するための調整可能な安全フェンス、光レベルを監視するためのレーザーシャッターなど、多くの安全機能も備えています。6200 Surfscanは、最先端の半導体アプリケーションの品質管理と欠陥検出のための強力なツールです。迅速かつ正確で信頼性の高い結果を提供し、メーカーが最高品質の製品を保証するのを支援します。