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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9245004
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KLA / TENCOR / PROMETRIX

6200 Surfscan

Inspection system, 8" Capable of 6" Laser has been replaced 1992 vintage.
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6200 Surfscan

Inspection system, 6".
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6200 Surfscan

Wafer particle inspection system.
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6200 Surfscan

Wafer surface contamination analysis system Missing parts.
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Bare surface inspection system, 2001 vintage.
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6200 Surfscan

Bare surface inspection system, 1992 vintage.
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6200 Surfscan

Bare surface inspection system, 1993 vintage.
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