中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9245004 を販売中
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ID: 9245004
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1992
Inspection system, 8"
Capable of 6"
Laser has been replaced
1992 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、半導体ウェーハの検査に使用されるウェーハ試験および計測機器です。独自の高解像度光学と画像処理アルゴリズムを使用して、ウェーハ製造時の欠陥と歩留まりクリティカルパターンを検出、測定、分析するように設計されています。KLA 6200 Surfscanは、トップエンドステーションと2つのプライマリシステムで構成されています。画像取得・解析機は効果的なイメージングのワークフローと画像配信を保証し、欠陥レビューツールはパターンデータを正確に評価および分類し、欠陥を検出することを可能にします。TENCOR 6200 Surfscanは、パターン化されたウェーハ検査に最適なプラットフォームを備えています。光学および接触面の検査機能、高度な欠陥レビューおよび自動欠陥分類を提供します。このアセットは、最大8インチのサイズまたは9インチ正方形のウェーハをパターン化することも可能で、最適化された信号対ノイズ比を備えています。PROMETRIX 6200 Surfscanには、検査プロセスを迅速化し、ターンアラウンドを高速化する自動ウェーハトラッキングもあります。Auto-Edge-Detect (AED)、オートフォーカス、最新のCMOSイメージング技術などの高度な検出アルゴリズムにより、最も困難で小さな欠陥も検出できます。また、チップあたりのパーティクル数を正確にカウントできるパーティクルピックアップカウンターを備えており、手動カウントの必要性を排除します。6200 Surfscanはまた実質的にあらゆる点検条件を満たすために交換可能なレンズの広い範囲を含んでいます。これは、検査時間を短縮するために協力するフルウェーハスキャンとスポットスキャン技術のオプションを提供します。また、キャリブレーション機能が内蔵されており、イメージング機器をすばやくキャリブレーションし、ウェーハを複数の形式で検査することができます。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、製造における半導体ウェーハの検査および計測のための貴重なツールです。それは一貫した性能を保障し、操作の容易さの優秀な結果をもたらします。革新的な機能と先進技術により、厳格なウエハ検査要件を備えた生産環境に最適です。
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