中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078060 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、半導体デバイスの分析に使用される高度なウェーハ試験および計測機器です。KLA 6200 Surfscanは、表面仕上げ、厚さ、平坦度、ドーパント濃度などの複雑なナノメートルスケール構造上のさまざまなパラメータを測定するように設計されています。このシステムは、地形、プロファイル、傾きなどの多次元測定を行うことができます。TENCOR 6200 Surfscanには、全自動の高解像度XYスキャナが装備されています。これは、コーナーキューブや極端な地形特性を持つ試験構造などの構造物からの歪みの存在下でも、正確かつ正確な測定を提供します。スキャン幅と速度は調整可能で、フルフィールド測定からローカライズされたスキャンまで、あらゆる測定タスクを可能にします。サンプルをスキャナーのステージに直接配置して簡単なセットアップを行うことも、より複雑な測定を行うためにチャックに取り付けることもできます。単位は200mmまで基質を収容できます。サンプルの向きを調整しながら、ナノメートル範囲の角度と傾きの値を正確に測定する2軸チルトおよび回転ステージも装備しています。ユーザー定義可能な解像度を持つCCDイメージセンサを使用すると、ウェーハ表面の構造を高コントラストで画像化でき、活性化、ジオメトリ、およびその他のパラメータのしきい値を決定するために使用できます。6200 Surfscanは高度な分析機能も備えています。このツールは、高解像度のイメージングおよび計測測定により、プロセスシフトの検出、再現性の測定、欠陥の特定、および統一された歩留まりの分析に使用できます。PROMETRIX 6200 SurfscanはWindowsベースで、スループットと信頼性を高めるために、本番環境、テスト環境、およびソフトウェア環境に統合できます。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200サーフスキャンウェーハテストおよび計測資産は、高度な生産環境向けに高品質で自動化されたウェーハ測定を提供します。高精度のスキャンとイメージング、高度な分析機能を備えており、正確な測定と歩留まり制御が向上します。このモデルの柔軟性と精度により、プロセスパラメータの迅速かつ正確なフィードバックを可能にし、従来の手動タスクの自動化を通じて。