中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293622692 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、2Dおよび3Dウェーハ検査および計測用に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。ウェーハコーティング、エッチング、CMPなど、さまざまな半導体プロセス工程に対応した汎用性の高いシステムです。このユニットは、さまざまな倍率でウェーハ表面の詳細な画像を提供するために、プローブとカメラのセットで構成されています。KLA 6200 Surfscanの主な特徴は、自動画像解析、統計プロセス制御（SPC）機能、ウェハの状態を迅速かつ効果的に評価できるオンボード測定ソフトウェアなどです。また、300mmまでの大型ウェーハのスキャンや測定も可能です。この堅牢なツールは、さまざまな欠陥層や画像処理技術を解決することもでき、優れたライン/スペース測定、欠陥マッピング、オーバーレイ制御を提供します。このアセットは、ウェハレベルのテスト、プロセス制御、およびデータ分析を提供し、お客様の要件を満たす高度な構成性を提供します。強力なフレキシブル画像検出（FID）ソフトウェアは、高度な自動測定とウェーハ欠陥の分類を提供します。FIDにより、Surfscan 6200は欠陥を認識、測定、分類することができ、処理時間を大幅に短縮し、歩留まりを向上させることができます。このモデルは、手動操作と自動操作の両方が可能であり、高い精度、信頼性、再現性を提供します。TENCOR 6200 Surfscanは、ウェーハ検査、計測、プロセス監視のための汎用性と強力なツールです。自動化された測定および分析機能により、多くの半導体製造事業に最適です。この装置は、品質保証と生産の最適化に関しては非常に貴重な資産です。