中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9299889 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、高度なウェハテストおよび計測機器です。直径6〜12インチのウェーハを層ごとに非破壊検査することができます。このシステムには、パラメトリック、オーバーレイ、および欠陥位置解析（DLA）機能の包括的なスイートが装備されています。ナノメートルの精度で測定できるため、半導体製造において最も要求の厳しい用途に適しています。KLA 6200 Surfscanは、ウェーハ表面全体の高解像度画像を収集するように設計された先進的な光学系を使用しています。自動化されたレーザー高さプロファイリングマシンにより、正確な3次元表面解析が可能です。また、電子ビームクロスセクショニング（EBCS）を使用してサブミクロン粒子や欠陥を検出する自動欠陥検出アセットも備えています。適切な再現性と精度を確保するため、TENCOR 6200 Surfscanには標準ウェハとリファレンスウェハを使用した自動校正モデルが装備されています。また、高解像度測定のための業界をリードするメガポイントおよびリニアリティテストも備えています。この機器は、インファブウェーハ管理システムと緊密に統合され、サーフスキャンとファブ内の他のシステム間の通信を可能にするように設計されています。6200 Surfscanは高度なツールでシステムの稼働時間と効率を最大化し、全体的なサイクル時間を短縮します。コンテキストに敏感なメニューを備えた直感的なユーザーインターフェイスと、欠陥検出のパフォーマンスを迅速にフィードバックするための包括的なデータレビューおよび分析ツールが含まれています。このユニットはまた、自動レシピ開発と高度なレシピ管理ツールを備えています。PROMETRIX 6200 Surfscanは、大幅に高度なウェーハ試験および計測機です。先進的な光学系と自動化されたセンサおよびキャリブレーション機能を組み合わせて、サブミクロン分解能を提供し、重要なウェーハ表面解析の再現性と精度を向上させます。革新的なユーザーインターフェイスとデータ管理ツールにより、高速で正確なウェーハ分析を必要とするメーカーにとって、このツールは最良の選択肢となります。