中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9159142 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、微細突起（またはステップ）やピットなどの表面特性を測定および分析するために設計されたウェハテストおよび計測機器です。サンプリングレートは最大10kHz、ビームスポットサイズは10 µm、解像度は最大1 µmです。単位は3つの主要な部品から成っています：光学、電子工学および力学を収容するスキャンヘッド；測定エンジン；分析ユーザーインターフェイスです。スキャンヘッドは計測データの収集と生成を担当し、DUTウェーハをスキャンするためのレーザーダイオードを装備しています。レーザーからの光が集中してスキャンヘッドに反射され、DUTの表面地形の画像が作成されます。この画像は、測定エンジンによって処理され、画像データを取得し、フィルタリングと最適化アルゴリズムを実行します。その後、データは分析ユーザーインターフェイスにアップロードされ、スキャンプロファイルと処理されたデータを表示するために使用されます。ステップハイト、ピットサイズ、表面粗さ、および低表示フィーチャーなどのパラメータをスキャンプロファイルから抽出できます。さらに、表面解析とコード駆動の最適化アルゴリズムを統合した「SmartScan」技術を搭載しています。この技術は、歩留まりを最適化し、コストのかかるパラメトリック測定の必要性を減らすためのツールの機能を強化します。グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も提供され、アセットの操作やデータの表示と分析を支援します。結論として、KLA 6200 Surfscanは信頼性が高く効率的なウェハテストおよび計測モデルであり、高精度の結果を高速で提供します。「SmartScan」技術、グラフィカルユーザーインターフェイス、スキャン速度などの機能により、基板の微細な特徴と欠陥を決定するための貴重なツールです。