中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9248731 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、大量の半導体製造用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。1時間あたり最大100個の6インチウェーハを処理できる、完全自動化された高速ウェーハスキャナです。KLA 6200サーフスキャンシステムは、高度なウェハスキャン、非接触欠陥の検査、自動フォーカス、および高度な2D/3D計測技術を組み合わせています。このスキャナは、業界標準のプロセス計測技術を使用して、多数のウェーハ表面からデータを収集します。2D/3D光学計測技術により、ウェーハ表面全体における詳細な地形測定が可能になり、非接触検査ユニットは電気的欠陥と物理的欠陥の両方を正確に検出および分類することができます。TENCOR 6200 Surfscanマシンは、データ収集、ストレージ、分析、および後処理アプリケーションも提供します。これにより、表面測定の迅速な可視化とさまざまな種類の欠陥の報告が可能になります。さらに、このツールは自動的にアセットセットアップ情報を維持し、レビュー可能な標準操作手順を提供します。このモデルは、包括的で使いやすいオペレータインターフェイスを備えており、サンプルのセットアップとデータ収集を迅速かつ効率的に行うことができます。また、QAシステムを内蔵しており、トレーサビリティを提供し、受信したデータを厳密にレビューおよび分析することができます。PROMETRIX 6200サーフスキャンユニットは、半導体メーカーが最も要求の厳しいプロセス制御要件を満たすように設計されています。機械の柔軟性と高度な機能により、半導体業界に最高レベルのウェーハ品質とプロセス制御をもたらす理想的なツールとなります。