中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078054 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、半導体業界の厳しい要件を満たすように設計された高性能ウェーハ試験および計測システムです。Surfscan 6200は、表面平坦度、重要寸法、オーバーレイ登録、フィーチャサイズなど、ウェーハのすべての重要なパラメータを正確に測定できます。このシステムの中心は、受賞歴のある独自のOpticsairTMセンサーであり、市場の他の同等のシステムよりも優れた感度と高速ダイナミックレンジを提供します。独自の中空ロッド光学設計により、振動を低減し、ノイズフロアを大幅に低減することでサンプリング精度を向上させます。OpticsairTMセンサーは、あらゆる形状の表面欠陥を測定することができ、特徴サイズと形状を特徴付けることができます。6200は、高度なマッピング機能とシリアルパターニング機能を備えたIMP （Imaging&Measurement Processor）、正確なCD測定用の最先端のAccu-Centric測定ヘッド、完全なシリアル位置制御を備えた自動ウェーハトラッキングモジュールなど、さまざまな性能強化オプションを備えています。6200はまた、ユーザーに最大4つの独立したウェーハステージを統合する機能を提供し、さまざまなウェーハサイズを測定する際に高い柔軟性を提供します。Surfscan 6200は、SPCシステムや自動ハンドラなどの他の機器とリンクして、体系的なフォルト認識、解析、修理を行うこともできます。6200は、標準的なウェハテスト機能に加えて、プロセス制御のための高度な性能ターゲティング、パフォーマンス監視のための自動処理制御（APC）モジュールを提供し、計測および分析ツールと統合することができます。要約すると、KLA 6200 Surfscanは、卓越した速度、精度、柔軟性を提供する高度なウェーハテストおよび計測システムです。市場投入までの時間を短縮し、プロセスの一貫性を向上させ、ウェーハコストを削減しようとする半導体メーカーに最適です。