中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078061 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200サーフスキャン装置はウェーハ試験および計測システムで、幅広いデバイスおよびプロセス監視アプリケーションに最適化されています。光学散乱計、楕円計測、化学機械平面化（CMP）、計測性能評価などの様々な技術を組み合わせ、優れたウェーハ表面特性評価と幅広いプロセスおよび歩留まり関連測定を実現しています。KLA 6200 Surfscanは、高度で高解像度の光学散乱計ユニットを使用して、サブミクロンの表面地形を検出および特性評価します。この機械は0。3ミクロン低い解像度の特徴を測定することができ、正確で反復可能な結果を提供します。さらに、TENCOR 6200 Surfscanは、さまざまな楕円測定の構成と技術のためのダイナミックなプラットフォームと、複雑なウエハジオメトリを正確に測定するために最適化された高度な位相変調アプローチを備えています。また、3次元トポグラフィー再構築（ET）などの強力な計測機能も備えており、ウェハ全体の形状を把握することができます。また、直感的なソフトウェアユーザーインターフェイスを備えており、繰り返し（インライン）測定と包括的（バッチ）測定の両方を含む、正確なテスト設定構成を可能にします。6200サーフスキャンはまた、静的表面形態解析（SSMA）、スクラッチマッピング、マクロパーティクル検出、接着測定などのCMP測定の完全な範囲を提供します。これらの測定により、アセットは弱点や欠陥を検出し、スピンドルの成長を定量化してプロセス制御を改善することができます。さらに、このモデルは、プロービング電圧や電流などのアフタープロセス欠陥検査や性能試験にも使用でき、適切に機能するデバイスを確保することができます。これらの強力な機能を備えたPROMETRIX 6200 Surfscanは、研究室と生産室の両方に理想的なツールであり、迅速で信頼性が高く、洞察力のあるウェーハテストと計測を提供します。これにより、他の技術では検出できない微小な表面特性を検出することができ、ウェーハプロセスを効果的に監視し、全体的な歩留まりと製造効率を向上させることができます。