中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9249954 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、半導体ウェーハの物理的および幾何学的特性の高分解能イメージングと自動測定を提供するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な光学およびイメージング技術を使用して、ウェーハ表面の正確に測定された地形画像を取得します。ナノスケールとマイクロスケールの両方の機能を測定することができ、ウェーハの製造時には広範な測定機能を使用して、歩留まりに影響を与えるプロセスと表面の問題を特定します。KLA 6200サーフスキャンユニットは、サンプルロードとアンロードを自動化し、画像の鮮明性を高めるための複数のステージ補正、および使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。また、広範囲にわたる広域イメージング、定量測定、デバイス間の均一性、データトレーサビリティも提供します。TENCOR 6200 Surfscanは、100nmピッチナノ構造の小さいデバイスで動作するように設計されており、最大1000ミクロンの広いフィールドを測定できる最適化された光学測定エンジンを備えています。その動的表面イメージングと測定は、研究者や技術者がウェーハの性能を予測し、プロセスの問題を決定するために使用できる高精度の結果を提供します。このマシンはまた、計測ワークベンチを備えており、迅速で再現性があり、統計的に有意義な測定を可能にします。この計測ワークベンチには、臨界寸法（CD）測定、ラインエッジラフネス（LER）、ローカルエッジラフネス（LER）、エッジスキャン用360度照明、プロファイル測定などのユーザーが選択可能な測定機能が含まれています。PROMETRIX 6200 Surfscanツールは自動検査機能も備えているため、プロセスの問題や不整合を迅速に特定できます。自動化された検査は、微小孔、泡、ストライエーションなどの表面の欠陥を検出するために、さまざまなアルゴリズムを適用します。また、ユーザーがその場で欠陥を視覚化することができる高度な欠陥レビュースイートを提供しています。6200 Surfscanアセットは、ウェーハテストと計測操作を改善するための幅広い機能を提供する、信頼性の高い汎用性の高い機械です。自動化されたウェーハハンドリング、高解像度イメージング、包括的な測定機能により、ウェーハ製造プロセスの監視が向上し、歩留まりの向上と生産スループットの向上に貢献します。