中古 NIKON NSR S202 #293815006 を販売中
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ID: 293815006
Scanning stepper
Process: Deep Ultraviolet (DUV) scanning
Missing parts:
Fine Alignment (FIA) unit
Reticle blind unit
Interferometer laser power
Fly’s eye lens
Relay lens.
ニコンNSR S202は、半導体リソグラフィープロセスで使用される多くの高精度機械の1つであるウェハステッパーです。この機械は、フォトリソグラフィープロセスを実現するために、高密度大型ウェハを露出(ドーピング)するために設計されています。最大サイズ200mmまでのウェーハに対応できる大型フレームのスキャン構造を備えています。NSR S202は、露光時間を短縮し、アライメント精度を向上させる最適化されたシャッター制御装置を備えています。また、ウェーハの端でも高精度な画像処理を可能にする角度付きイルミネーション技術を活用した高性能画像形成システムを搭載しています。高品質な画像形成とシャッターコントロールユニットを組み合わせることで、幅広い「加工困難」な基板の細かなパターンを作成することができます。NIKON NSR S202は、さまざまな表面で非常に高解像度の高グレースケール画像を生成することができます。優れた画像倍率とスキャン精度により、高度にパターン化されたウェーハを容易に処理できます。NSR S202は、その技術仕様に加えて、簡単な操作とメンテナンスのために設計されています。また、直感的なグラフィックユーザーインターフェイスを備えており、分散リソグラフィーマシンを作成するためにポートレスLANネットワークのオプションを追加することができます。堅牢なビルドと信頼性の高いパフォーマンスにより、あらゆるアプリケーションで高い生産性と優れた歩留まりを保証します。ニッコンニコンNSR S202ウェーハステッパーは、半導体製造技術に最適な機械で、高品質な画像と信頼性の高いスループットを提供します。
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