中古品 ウエハーハンドラー を販売中
ウェーハハンドラは、ウェーハハンドリングロボットまたは自動ウェーハハンドリングシステムとも呼ばれ、半導体産業で使用される不可欠な機器です。これらのシステムは、半導体製造工程のさまざまな段階でウェーハを微細化するように設計されています。ウェーハハンドラの主な機能の1つは、カセットやFOUP（フロントオープニングユニファイドポッド）などのさまざまなキャリアからウェーハをロードおよびアンロードする機能です。これは、ウェーハへの損傷のリスクを最小限に抑えるために極めて正確に行われます。ウェーハハンドラは、特殊なエンドエフェクターを備えたロボットアームを使用して、ウェーハを安全に保持および操作します。ウェーハハンドラは、ウェーハ検査および計測プロセスにおいても重要な役割を果たします。ウェハを自動光学検査（AOI）システムや走査型電子顕微鏡（SEM）などの検査ステーションや測定ツールに転送するために使用されます。ハンドラーはウェーハの正確な位置決めを保証し、正確な測定と欠陥検出を可能にします。ウェーハハンドリングに加えて、これらのシステムには、ウェーハマッピング機能やRFIDトラッキングなどの高度な機能が装備されていることがよくあります。これらの機能は、各ウェーハの位置と履歴を追跡するのに役立ち、製造プロセスのより良い制御と監視を可能にします。全体として、ウェーハハンドラは、ウェーハハンドリングプロセスの自動化と効率化を可能にするため、半導体業界で不可欠なコンポーネントです。その精度、信頼性、高度な機能は、ウェーハの損傷や汚染のリスクを最小限に抑えながら、高品質のチップの生産に貢献します。
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