中古品 ウェーハ＆マスクスクラバー を販売中
ウェーハとマスクスクラバーは、半導体製造プロセスで使用される重要な機器です。この機械は、集積回路の製造に使用される前に、ウェーハとマスクを洗浄して準備する責任があります。このスクラバーは、機械的、化学的、および超音波プロセスの組み合わせを利用して、ウェーハとマスクの表面から汚染物質を除去することによって動作します。材料の清潔さと完全性を保証するマルチステッププロセスです。まず、ウェーハとマスクをスクラバー室に積み込み、そこで脱イオン水の高圧スプレーを受けます。この水は、表面に存在する可能性のある緩い粒子を除去します。次に、スクラバーは化学物質と超音波振動の組み合わせを使用して、頑固または付着した汚染物質を除去します。このプロセスで使用される化学物質は、フォトレジスト、有機フィルム、金属不純物などのウェーハやマスクに含まれるさまざまな種類の汚染物質を溶解するために特別に配合されています。超音波振動は、ウェーハとマスクの表面を攪拌する高周波波を作成することにより、洗浄プロセスを強化し、残りの粒子を脱落させて除去するのに役立ちます。洗浄後、ウエハーとマスクを完全に脱イオン水で洗浄し、残留化学物質の除去を確実にします。このステップでは、新しい汚染物質の導入を防ぐために特別な注意が払われます。全体として、ウェーハおよびマスクスクラバーは、製造工程で使用される材料の清潔さと完全性を確保することにより、半導体製造において重要な役割を果たします。スクラバー技術の継続的な改善は、半導体業界の厳しい要件を満たし、集積回路の能力を向上させる上で不可欠です。
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