中古品 ラピッドサーマルプロセッサー を販売中
RTP （Rapid Thermal Processors）は、集積回路の製造プロセスで使用される高度な半導体製造ツールです。これらのデバイスは、半導体ウェーハに正確かつ迅速な加熱および冷却サイクルを提供するように特別に設計されており、複雑で高性能な電子部品を作成することができます。RTPは、高輝度ランプまたはレーザーを使用してウェーハ表面に局所加熱を生成します。暖房は通常数秒以内に達成され、毎秒数百°Cまでの急速な温度ランプを可能にします。この迅速な加熱プロセスにより、半導体材料の電気特性を変更するために不可欠なドーパントの活性化と拡散が可能になります。RTPの高速加熱および冷却サイクルは、従来の熱処理技術に比べていくつかの利点を提供します。まず、熱予算を最小限に抑え、ウェーハ上の繊細な部品を損傷するリスクを低減します。さらに、急速な温度変化により全体の処理時間が短縮され、半導体製造の生産性とスループットが向上します。さらに、RTPは優れたプロセス制御と均一性を提供し、ウェーハのバッチ全体で一貫した結果を保証します。この精度は、歩留まりと性能の高いデバイスを製造するために不可欠です。RTPは、浅い接合部の形成、イオン埋め込み層のアニール、高度なCMOSデバイスにおけるドーパントの活性化など、さまざまな半導体アプリケーションで広く使用されています。最新の電子デバイスの製造において重要な役割を果たしており、小型、高速、強力な集積回路の製造を可能にしています。
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