中古品 ウェーハステッパー を販売中

ウェハステッパーは、半導体製造プロセスでシリコンウェハ上の集積回路(IC)を生成するために使用される重要なツールです。プロジェクションリソグラフィーシステムとして機能し、回路設計の複雑なパターンをウェーハ表面に転送します。ウェーハステッパーの中核部品はレンズシステムです。高品質のレンズで構成されており、回路パターンを極めた精度でウェーハに投影します。レンズシステムは、パターン転送の解像度と精度を定義する上で重要な役割を果たします。ウエハステッパーは、紫外線(UV)光源を利用した高度なイメージング技術を採用しており、解像度を高め、ウェハ上のより小さなフィーチャーサイズを可能にします。光源は、回路パターンを含む透明なプレートであるレチクルを通過し、レンズシステムを介してウェーハ表面に投影されます。ウェーハはレンズシステムの下に段階的に移動し、さまざまな領域を露出させ、ウェーハ全体をパターン化します。ウェーハステッパーの主なパラメータには、露出時間、開口数、焦点深度、フィールドサイズがあります。露光時間とは、ウェーハステップごとに露光時間を指し、開口数によってシステムの解像度が決まります。焦点の深さはレンズとウェーハの間の許容距離を表し、ウェーハの平坦性の変化を可能にします。フィールドサイズは、単一の露出でパターン化できる領域を定義します。半導体製造にはウェーハステッパーが不可欠であり、ミニチュアデバイスを備えた非常に複雑なICの製造が可能です。分解能の絶え間ない進歩は、半導体産業の急速な成長を促進し、先端技術アプリケーションの開発を促進する上で極めて重要である。

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