中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9390864 を販売中
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ID: 9390864
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Oxide CMP System, 12"
(3) Load ports
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: AC 208 V, 3 Phase
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALSリフレクシオンは、半導体業界に求められる高水準の品質と性能を満たすように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。AMAT Reflexionシステムは、Si、石英、GaAs、セラミックスなどのさまざまな材料で、単一または多次元表面に精密で高品質な仕上げを提供します。このユニットは、革新的なウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスシーケンスと組み合わせて、多軸ムーブメントと正確な位置決めを利用して、卓越した結果を達成しています。APPLIED MATERIALTSリフレクシオンマシンは、直径200mm、厚さ6インチまでのウェーハを研削、ラッピング、研磨することができます。高精度スピンドル、密閉された作業室、顕微鏡や全自動パーツチェンジャーなどのさまざまなアクセサリーやオプションにより、特定のプロセス要件に応じてツールをカスタマイズできます。アセットは、高耐久研削、ラッピング、研磨操作を保持するように設計されており、高度な制御アルゴリズムが最大のプロセス精度、再現性、効率を保証するために使用されます。反射モデルはいくつかの段階で動作します。まず、ウェーハ表面を高速かつ高精度に研磨します。第二に、ラッピングステージは、望ましい均一度に表面を滑らかにします。最後に、研磨ステージでは、ダイヤモンド研磨/研磨パッドを使用して表面粗さを低減し、必要なレベルの仕上がりを実現します。AMAT/APPLIED MATERIALTS Reflexion装置の研削、ラッピング、研磨パラメータは、異なる材料に簡単に調整および適応することができ、より良いプロセス制御と柔軟性を可能にします。システムで使用されるコンポーネントは高品質で、長寿命を保証し、機械はメンテナンス要件の必要性を最小限に抑えるように設計されています。AMAT Reflexionユニットは、さまざまなウェーハ研削、ラッピング、研磨ニーズに対応する信頼性と費用対効果の高いソリューションです。信頼性と再現性に優れたプロセス制御を提供し、高精度で一貫性のある正確な結果を得ることができます。その柔軟性とアクセサリーの範囲は、さまざまなアプリケーションに適応することを可能にし、多くの業界に最適です。
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