中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9311884 を販売中
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ID: 9311884
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
CMP System, 12"
Process: Tungsten
Polisher:
Clean dry air and nitrogen: Maximum flow 30 SCFM
De-Ionized Water (DIW): Maximum 5.8 GPM
Slurry (1-3): 600 SCCM
Exhausts: Maximum 150 CFM
AC Power: 208 V, AC 5%
Cleaner:
Nitrogen maximum: 3 SCFM
Clean dry air maximum: 13.4 SCFM
De-ionized water (DIW) maximum: 4.0 GPM
Process cooling water maximum: 1.8 GPM
AC Power: 208 V, AC 5%
FI Specification:
Vacuum: 12.6 psig
Clean dry air maximum: 20 SCFM
AC Power: 208 V, AC 5%
Polisher configuration verification:
(4) Polishing heads: 12" Titan profiler 2.1
Polisher head: (4) Zones
ISRM: P1 Full scan, P2 scan
(3) Pad conditioners
(3) Pad conditioner heads modify to cylinder type
Slurry: Line A, B, C / (2) Peristaltic pumps
ENTEGRIS Flow controller
X3, NT Flow controller X1
Polisher platen without cooling function
LCWE Input / Output type edge type wet robot
Cleaner configuration verification:
Wet robot in KAWASAKI mode
P490 Connector missing
FI Configuration verification:
KENSINGTON Robot
(3) Load ports
Operating system: Windows XP
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexionは、半導体産業のために設計および製造されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウェーハ表面の初期調製からデバイス加工に必要な最終研磨まで、ウェーハ加工のすべての段階に使用できます。このシステムは、ウェーハ研削および研磨操作を行うための傾斜機構を内蔵した最先端のロボット研削および研磨アームと精密コントローラに基づいています。研削・研磨アームにはスピンドルと精密スライドベアリングアセンブリが装備されており、ウェーハ表面に適用される方向と力の両方を制御します。コントローラは、複数の研削/研磨操作を管理することができ、ユニット内のすべての操作の進捗状況を追跡および記録することができます。AMAT Reflexionには各種ウェーハ治具が装備されており、研削・研磨作業を行いながらウェーハをしっかり保持します。治具は、ウェーハの異なるサイズと形状に対応するように設計されており、異なるプロセスに対応するために迅速に交換することができます。また、ウェーハ表面からの材料接地の効率的な除去を容易にするために、さまざまな真空/ガスシステムが組み込まれています。モジュラー設計により、高速研削や研磨作業、ウェハ表面品質のプロセス内測定、オンライン表面状態監視など、さまざまなプロセス条件に簡単に設定できます。APPLIED MATERIALS Reflexionには、研削および研磨作業の安全管理を確保するための安全対策も内蔵されています。それは、欠陥が検出された場合、または間違ったプロセス設定が選択されている場合に労働者を知らせるために、任意のプロセス段階に接続することができ、可聴および視覚アラームが付属しています。また、予期しないプロセスパラメータの変更を検出し、そのような変更が検出された場合にプロセスを中止することができる、ソフトウェア対応のプロセスセーフガードもあります。最後に、アセットはユーザーの介入を最小限に抑えて、異なる研磨/研磨プロセスを正常に切り替えることができます。Reflexionは、最先端のロボティクス、精密コントローラ、各種治具、安全対策を組み合わせ、プロセス全体を効率的に制御する高度なウェーハ研削・研磨モデルです。これにより、最も厳しい生産環境でも一貫して高品質の結果が達成されます。
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