中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9056492 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexionは、半導体メーカーがMEMS加工および微細研削を効果的に適用し、MEMS部品に対して超平坦でダメージフリーな表面を生成できるように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。AMAT Reflexionは、5インチおよび6インチの超硬ラッピングプレート、ダイヤモンドパッド、スラリートレイを使用して、自動6軸ロボットを使用して構成されています。自動化されたロボットアームは、細かくバランスの取れた多軸プログラムで研削工具を移動させ、幅広い材料で優れた表面平坦性と均一な厚さを実現します。APPLIED MATERIALS Reflexionには精密監視およびナビゲーション（PMN）技術も搭載されており、ロボットは研削面の高さ、角度、距離などを正確に測定し、必要な仕様に応じて適切な量の研磨媒体を分配することができます。さらに、最先端のクローズドループ制御システムは、最高品質の研削が確実に行われるようにプロセスを常に監視します。このユニットには、着信材料をスキャンし、研削工程中の欠陥や欠陥を評価するビジョンマシンも装備されています。リフレクシオンには、フィルターレス設計のダストコレクタも搭載しており、加工ウェハを汚染しないクリーンなウェハ処理環境を実現しています。このツールには、埋め込まれた研磨粒子の粒子を測定することによって汚染を防ぐ3軸パーティキュレートカウンタもあります。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexionは、操作制御、データロギング、リアルタイム監視を容易にするタッチスクリーンインターフェイスも備えています。AMAT Reflexionは、研削工具の円滑な運用と効率的な使用を確保するために、ソフトウェアプログラムでスケジュールされ、最適化されています。この資産は、生産ライン内の他のシステムと容易に統合され、プロセスを簡素化し、研磨材による摩耗または汚染から下流の機器を保護します。さらに、APPLIED MATERIALS Reflexionは、MEMS製造に使用されるさまざまな一般的な材料に対応でき、1秒あたり0。5ミクロンまでのさまざまな研磨速度をサポートします。Reflexionは高水準の性能と信頼性のために設計されており、半導体メーカーはMEMSアプリケーションに最適な表面を持つ部品を製造することができます。半導体業界での使用に最適な研磨・研磨の先進モデルです。