中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9394795 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion
ID: 9394795
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
CMP System, 12" FA 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALSリフレクシオンウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、半導体ウェーハ製造における画期的な技術革新です。このシステムにより、オペレータは0。25ミクロンまたはより細かいサイズのウェーハを迅速かつ正確に研削および研磨することができます。研磨材料を使用して望ましい平滑度に研磨することにより、個々の材料の層を仕上げるという原則に基づいています。このユニットは、研削と研磨時間と圧力の制御を提供するだけでなく、複雑な工具やテンプレートを必要とせずにスムーズで正確な結果を得ることができます。その結果、より速く、より正確なプロセスの歩留まりが得られます。AMAT Reflexionマシンは、特許取得済みのALP (Adaptive Layer Processing)技術を使用して、ウェハの研削、ラッピング、研磨を正確に制御します。高精度マルチカムサーボモータを備えた3軸ロボットアームを使用し、研磨パッドとツールプレートを揃えます。これにより、プロセス全体にわたって正確なツールアライメントとスムーズな操作が保証されます。このツールには、最高品質のダイヤモンド研磨パッドと、開閉と真空密封の両方のツールが装備されています。これにより、最高レベルの精度と制御が保証されます。ロボットアームにはレーザーエッジ検出器も装備しており、研削前にウェハが正確に成形されていることを確認します。これは、ウェーハが適切に成形されていることを確認するのに役立ちます。これは、一貫した正確な結果を得るために重要です。APPLIED MATERIALTS Reflexionアセットには、自動分離モデルも含まれており、研削プロセスが行われている間にウェーハ上に存在する可能性のある粒子、ほこり、破片を分離して除去することができます。この分離装置は、研削および研磨プロセスによる汚染の量を削減するのに役立ちます。全体として、リフレクションウェーハ研削、ラッピング、研磨システムは、0。25ミクロン以下のサイズのウェーハを正確かつ効率的に研削および研磨するために不可欠なツールです。高度な制御機能、非常に高速で正確な操作、高品質でパーティクルフリーな環境を提供します。このユニットは、革新的なデザイン、最先端の技術、そして比類のない精度で業界で際立っています。
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