中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9235057 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTSリフレクションウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、要求の厳しいアプリケーションのための高精度システムです。AMATリフレクシオンユニットは、化学機械研磨（CMP）を利用して、ウエハ上のサブナノメートル平坦度と表面粗さを考慮して設計されています。ウェーハの前面と背面の両方を処理することができ、両方のプロセスを1つに組み合わせることができます。アプライドマテリアルズ特許取得済みのウェーハキャリアツール、最適化されたサスペンションアセット、マルチヘッド質量研磨機を搭載しています。また、最新の研磨技術を使用して、望ましいウエハプロファイルからの偏差を迅速かつ正確に修正するクローズドループ機械研磨プロセスも備えています。また、高い精度と再現性を可能にする均一で一貫性のある仕上がりを実現するように設計されています。反射装置は、シリコン、ヒ素ガリウム、窒化ガリウムなどの幅広い基板材料を処理することができ、ウエハサイズは3インチから18インチまで対応できます。このシステムはまた、必要なパラメータが迅速かつ効率的に達成されるように、さまざまな高度なプロセス制御オプションを提供しています。AMAT/APPLIED MATERIALSリフレクシオンユニットには、ウェハ研削、ラッピング、研磨機能に加えて、視覚ベースの欠陥検出も含まれており、機械が表面欠陥を検出および分類することができます。これにより、ユーザー定義のパラメータに基づいて自動的にパス/フェイルの決定を行うことができます。AMAT Reflexionツールは、直接書込みおよびバンププリントリソグラフィ、ならびにひずみ層超格子の両方に適しています。アセットにはさまざまなプロセスオプションがあり、ユーザーは特定のプロセス要件に合わせて表面仕上げをカスタマイズできます。これには、研削とラッピングの速度を制御し、研磨のための表面の特徴を選択し、研削のための特定の材料を選択することが含まれます。APPLIED MATERIALTS Reflexionモデルは、要求の厳しい高精度アプリケーションに最適なツールで、精度と効率を最大限に高めるための包括的な機能を提供します。