中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9275009 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion
ID: 9275009
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
CMP System, 12" EFEM FI Contour polisher Cleaner FFU Bracket Hard Disk Drive (HDD) missing 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Wafer Grinding、 Lapping&Polishing Equipmentは、半導体およびMEMSアプリケーション向けの高度でありながら費用対効果の高いミラー仕上げ準備ソリューションです。このシステムは、最高クラスの精度と効率を生産プロセスにもたらし、高スループット、低コストのミラー仕上げ準備に最適化された高速かつ再現性の高いプロセスを提供します。AMAT Reflexion Unitは、3段階の自動回転ヘッド操作とマルチゾーンウェハローディングマシンを備えたユニークな特許取得済みの設計を特徴としています。独特な設計はユーザーが単一の機械を使用して3つの明確な粉砕および磨く段階をナビゲートすることを可能にします。第1段階では、水冷式ダイヤモンド研磨ベルトを備えたベルト駆動スピンドルを使用し、静止した銅ベースの自己中心プラテンに対して移動します。この段階では、さらなる動作のためにウェーハ表面を準備します。第2段階では、ロータリー研磨ヘッドを使用して、ウェーハ表面にスラリーの層を塗布し、回転ヘッドの作用によって研磨します。第3段階は光学的に制御された終わり操作であり、望ましいミラーの終わりをウェーハの表面に提供します。APPLIED MATERIALTS Reflexion Toolには、均一なミラー仕上げを得るための鍵である再現性を確保するために、自動化されたプログラム可能な機能が装備されています。このアセットは、選択可能な研磨/研磨時間や水系化学変数など、さまざまなカスタマイズ性と構成性オプションを提供します。さらに、このモデルは、加工温度に関係なく、安定した剛性のある性能を確保するために、高精度の耐荷重の花崗岩ベースを備えています。Reflexion Equipmentは、高精度、低コストのミラー仕上げ準備プロセスの課題に対応するように特別に設計されています。高いスループットと低コストの動作により、さまざまな半導体およびMEMSアプリケーションにとって魅力的な選択肢となります。テクニカルサポートと組み合わせることで、パフォーマンスの向上と歩留まりの向上をシステムから一貫して実現できます。
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