中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Integra #9265796 を販売中
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ID: 9265796
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1998
System, 6"
Box 1:
Type: Through-the-wall
(4) SMIFs
CPU Board type: 400 MHz or Higher
Box 2: Mirra Track
Box 3: Oxide
Box 4: Dry in / Dry out
Box 5:
Signal lamp tower
No Bolt-on SMIF
No integrated SMIF
Box 6:
Cassette tank: Standard
Robot type: 112" Stand alone
Cleaner type: ONTRAK
Spray gun: Single
No In-situ removal rate monitor
No IPM
Box 7:
Polish heads: Titan 1
Rings: AFP
Wafer loss sensor: Dual sensor
Box 8:
Teflon coated platens
Pad type: IC 1000
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner disc: TBW
Universal disk holder
Temperature control: None
Box 9:
Slurry / Platen used
Flow rate: Standard
Dispense arm: Standard
No slurry flow monitors
Box 10:
Nova type: Wet out
No interface monitor
No notch finder
Box 11:
Membrane type: FPDM
4-Port UPA upper
Box 12:
Polish heads: 6" Titan
Grooved retaining rings
Dark pad wafer loss sensor
Box 13:
Pad type: IC 1000
Pad conditioner disc: ABT
Universal disc holder
Box 14:
MESA Cleaner type
On-board mixing
Chemical A: Ammonia Hydroxide
Pressurized delivery type
Precision spray bar
CLC Brush box with on-board mixing
Scrubber 1 and 2:
Brush type: Rippey microclean
Delivery type: Direct feed
Manuals and cables included
Power supply: 208 V, 3 Phase
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Integraは、幅広い研磨媒体を有する脆性材料の高効率加工のために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、半導体やMEMSデバイスの製造など、さまざまな用途に使用されています。このユニットは、研削ホイールとラッピングプレートを収容するベースユニットと、ユーザーが研削装置を制御し、所望の結果を満たすためにパラメータを調整することができるコントローラーユニットで構成されています。AMAT Mirra Integraは、アルミニウムシャーシ、ステンレス製ワークプレート、セラミック部品を備えた堅牢な構造を備えています。APPLIED MATERIALTS Mirra Integraで使用される研削盤は、高い精度と精度を備えています。研削砥石は、材料表面全体にわたって一貫した結果を提供するように設計されています。研削媒体を最適化し、プレートの摩耗を低減し、ワークの損傷を最小限に抑えます。さらに、研削媒体は表面異種基板にも対応可能です。Mirra Integraのラッピングプレートは、均一な研削面を提供するように設計されています。これにより、ワークのストレスを軽減し、表面粗さを低減し、部品寿命を向上させます。ラッピングプレートには2つの調整可能なクランプが装備されており、特定のアプリケーション要件に合わせて調整することができます。AMAT/APPLIED MATERIALTS Mirra Integraの研磨プロセスは、化学的および機械的方法を組み合わせて高品質の研磨結果を達成します。使用される研磨媒体は、制御された一貫した仕上げ手順を可能にするように設計されており、高精度な結果をもたらします。AMAT Mirra Integraの自動化されたプロセス制御機械は、ユーザーが最適な結果を確保するために研削装置パラメータを調整することができます。コントローラはまた、ワークの表面粗さに対するフィードバックを提供し、事前に決定されたしきい値を超えた場合にアラームをトリガできます。全体として、APPLIED MATERIALTS Mirra Integraは非常に高度で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールであり、わずかな時間で高精度の結果を得ることができます。
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