中古 KLA / TENCOR 2920 #9375410 を販売中

KLA/TENCOR 2920は、マスクおよびウェーハおよび欠陥解析上の重要な機能の明確で正確な画像を提供するマスクおよびウェーハ検査装置です。高解像度のデジタルイメージングシステムと、画像比較と解析のための最先端のソフトウェアを備えています。マスクやウェハの検査に優れた感度と精度を提供し、独自のRapidImageSource™イメージングマシンと高度な多周波散乱光学を組み合わせています。エッチングパターンウエハ、フォトマスク、照明マスクターゲットの重要な機能や欠陥の自動検査に使用できます。KLA 2920には、画像取得アセット、画像比較解析ソフトウェア、位置決めモデルなどの高解像度デジタルイメージングツールが搭載されています。イメージング装置は、ユニークな散乱光ビームと高感度CCDカメラを使用して、マスクやウェーハ上の重要な機能の明確で正確な画像をキャプチャします。多周波散乱光学システムにより、イメージングユニットは40 nmの解像度で画像を取得できます。このマシンは、小さな欠陥を検出し、そのサイズ、形状、位置、方向を決定するために最適化されています。解析ソフトウェアは、パターン認識、画像強化、および自動欠陥分類を実行することができます。このツールはまた、正確なサンプルスキャンのための高度な位置決め機構を備えています。TENCOR 2920は、プロセス制御機能も強化されています。スタートアップから診断テストまでのプロセス全体を監視し、スループット、再現性、品質管理を向上させることができます。この資産は、詳細なレポートを自動的に生成し、プロセスの最適化と是正措置のためのリアルタイムデータを提供することができます。2920はマスクおよびウェーハの点検のための信頼でき、多目的なモデルです。優れたイメージング機能、プロセス制御機能の強化、欠陥検出の精度を最大限に高める高度な解析ソフトウェアを提供します。この装置は、パターン化されたウェーハ、フォトマスク、照光マスク検査に費用対効果の高いソリューションを提供します。