中古 TEGAL 901 / 903 #9285865 を販売中

TEGAL 901/903アッシャー/エッチャーは、最も強力で汎用性の高いエッチング/アッシングシステムの1つです。ドライエッチングとウェットエッチングの両方のプロセスで超高スループットを提供します。この装置は、高出力プロセスチャンバー、高出力の無線周波数発生器、およびロボットウェーハ処理システムにより、3インチおよび4インチのウェーハを高速でエッチング/アッシングすることができます。単位のプロセス部屋は耐熱性の陶磁器のライニングが付いているステンレス鋼から成っています。チャンバー内には、高出力の無線周波数発生器を搭載したエッチング/アッシング電極アセンブリがあります。これにより、エッチング/アッシングパラメータをお客様の特定のアプリケーションに合わせて調整できます。ガスフィードマシンは、プロセスチャンバーからのガス副産物の迅速かつ効率的な除去を保証します。ウェハハンドリングツールは、最大200mm/秒の送り速度で最大5つのウェハーを同時に処理することができます。また、ウェーハサイズの広い範囲にわたって均一性を高め、精度は0です。²mm。ロボットメカニズムは、ウェハハンドリングアセットの総所有コストを最小限に抑え、生産品質を最大限に引き出すことができます。ウェーハはウェーハホルダー上に配置され、負荷ステーションからアンロードステーションに空気圧で移動します。選択可能なエッチング速度と高スループットは、圧力ポンプを介して均一なガス分布を提供する信頼性の高い2段階の電力消費モデルによって提供されます。単色プラズマ発生器は、エッチングおよびアッシングプロセスにとって重要なパラメータであるイオンエネルギーと温度を正確に制御します。これにより、エッチングおよびアッシングプロファイルを最大限に制御し、最高のスループットと最高品質のウェーハを提供します。901/903アッシャー/エッチャーは、安全性、メンテナンス、信頼性を念頭に置いて設計されています。一連のファイアウォールとスパーク抑制システムを組み込んでおり、運用およびメンテナンス中の安全性を確保しています。また、高効率の冷却装置と、長期的な信頼性と性能を保証するためのスペアパーツとコンポーネントの包括的なリストを誇っています。要するに、TEGAL 901/903 Asher/Etcherは、最高の制御と超高生産歩留まりを提供する効率的で信頼性の高いエッチング/アッシングシステムです。それはさまざまなウェーハサイズを使用するための理想的な選択であり、非常に信頼性が高く安全です。