中古 SINGULUS Silex II cleantex 2800 #9353274 を販売中

SINGULUS Silex II cleantex 2800エッチャー/アッシャーは、高精度で費用対効果の高いエッチングおよびアッシング装置で、一貫した結果を提供します。エンドユーザーとプロセスエンジニアの両方の要件を満たすように特別に設計されたプロセスパラメータが装備されています。Cleantex 2800はスタンドアロンエッチャー/アッシャーシステムで、統合されたプロセスコントロールユニット、フォトレジストおよび厚層の高速で精密な処理を行うための幅広い最適化された機能など、高度な機能のユニークな組み合わせを提供します。Cleantex 2800は、シリコンウェーハ、厚膜用材料、半導体デバイスの高精度エッチングおよびアッシング用に設計されています。ディープエッチング、ポケットエッチング、ディープアッシングなど、さまざまなエッチングとアッシングのオプションが装備されています。アッシングプロセスは、酸素供給速度が均質で再現可能な結果のために正確に制御される閉じたセルで行われます。このユニットにはタイトなプロセスパラメータが用意されているため、短時間で高精度な結果が得られます。このツールは、高い再現性で最適なプロセス結果を提供します。「ラピッドアッシング」プロセスにより、多数のウェハに対して高いスループット処理が可能になります。統合されたプロセス制御資産「Smartview」は、リアルタイムのデータフィードバックとプログラミング支援を提供します。さらに、Cleantex 2800の「Smartdry」機能により、アッシング後の均一なウェーハ乾燥が保証され、高品質の結果が得られます。Cleantex 2800はフットプリントが小さく、処理ドラムに最大50個のウェーハを収容できます。直感的なタッチスクリーンインターフェースにより操作が容易です。操作はユーザーフレンドリーなタッチスクリーンメニューに基づいており、ユーザーは目的のパラメータセットを選択してプロセスを迅速に開始できます。このモデルは、自動化されたプロセスとプログラミングもサポートしています。さらに便利に、Cleantex 2800にはデータロギング機能があり、不活性ガス供給用の真空ポートが提供されています。Cleantex 2800の長い耐久性と低メンテナンスコストにより、エンドユーザーとプロセスエンジニアの両方に最適です。その低い運用コストとエネルギー効率の高い操作は、材料の広い範囲を処理する能力と同様に、追加の利点です。高度なカスタマイズにより、ユーザーは機器を特定のエッチングおよびアッシング要件に合わせて調整することもできます。Cleantex 2800は、一貫した費用対効果の高い結果を提供する幅広い機能とオプションを備えた高精度エッチャー/アッシャーです。