中古 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9354411 を販売中

LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DXは、高度な半導体加工アプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャー装置です。最適化された高度なエッチングおよびアッシャープロセスを使用して、半導体ウェーハの高速で柔軟かつ反復可能な処理を提供します。このシステムは、高度な半導体処理において困難な作業を処理するために特別に設計されています。2300e4ユニットは、柔軟な処理と高度なエッチング/アッシャーレシピ制御により、迅速かつ再現性のあるウェーハ処理を提供します。処理ヘッドは、複数の異なるジオメトリを処理する場合でも、ウェーハ全体を正確に素早く移動させることができます。「Smart Processor」機能により、2300e4マシンは自動的にレシピパラメータを調整してエッチングまたはアッシャーレートを最適化し、より高品質な結果を得ることができます。2300e4の組み込み機能セットは、再現性と信頼性の高い結果を保証します。エンドポイント検出とプロセスモニタリングを自動化し、均一性と均一なウェーハ厚さを維持します。これらの機能は、堅牢な環境管理ツールとともに、安定したエッチング/アッシャー速度と均一性とともに、可能な限り低い欠陥率をもたらします。2300e4アセットには、高性能で低メンテナンスのソフトウェアパッケージが含まれています。このソフトウェアパッケージは、使いやすく強力なグラフィカルユーザーインターフェイス、診断およびプロセス制御、レシピビルド、プロセスログ、およびレシピ管理機能を提供します。このモデルには、必要に応じて編集およびカスタマイズできるエッチング/アッシャーレシピの堅牢なライブラリも含まれています。この装置はまた、一貫したエッチング/アッシャー速度を確保するために、本格的なプロセス監視と検証を提供します。2300e4 Exelan Flex DXエッチング/アッシャーシステムは、マルチジオメトリ半導体ウェハの信頼性、効率性、再現性に優れた処理用に設計されています。このユニットは、高度なエッチング/アッシャーレシピコントロールを使用して、高速で柔軟かつ反復可能な処理を提供します。組み込みの機能セットは、均一性と均一なウェーハの厚さの自動エンドポイント検出とプロセス監視を提供します。ユーザーフレンドリーで強力なグラフィカルユーザーインターフェイスは、エッチング/アッシャーのレシピ構築とプロセス制御を使いやすいものにします。2300e4マシンは、高度な半導体加工アプリケーションに最適なソリューションであり、プロセスの歩留まりと均一性を向上させます。