中古 KOKUSAI DJ-1205V #9120660 を販売中

KOKUSAI DJ-1205V
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-1205V
ID: 9120660
ウェーハサイズ: 12"
Vertical diffusion furnace, 12".
拡散炉とアクセサリーDJ-1205V KOKUSAIは、基板表面/フィルム成膜処理用に設計された強力な多目的デバイスです。200°C〜1200°Cの広い範囲で優れた温度均一性と安定性を提供し、総熱容量は~ 20kWです。この機器には、石英チューブ、自動積み下ろし装置、独立した空気ろ過、温度コントローラ、および使いやすいコントローラーソフトウェアが装備されています。DJ-1205Vは、内径26インチの水平、セグメント化された低熱質量水晶チューブで、有効な原子炉径は22です。"炉は、最大1,200°Cの温度で熱伝導加熱を可能にし、15 atmを安全に超えます。原子炉全体に均一な温度を提供し、基板表面の均質なフィルム成長を保証します。ガスシステムは、様々なプロセスのための最大4つのガスの操作を可能にします。張力ばねは炉への水晶管の安全な配置を保障し、潜在的な損傷から管に保護を提供します。KOKUSAI DJ-1205V炉の自動積み下ろしユニットには、トップローディングおよびボトムローディング用に設計された磁気駆動型のクローズドループ型ロボットアームが組み込まれています。この機械は、クォーツチューブに基板を正確に配置し、フィルムの均一で正確な沈着を保証します。環境不純物を除去できる独立した空気濾過ツールもあります。DJ-1205Vは水晶管の温度を制御し、監視するために外的なコントローラーが装備されています。このデバイスは、PID温度制御を備えた4ゾーンの加熱ゾーン設計を備えています。炉には、不規則性をユーザーに通知し、安全な動作を確保するためのアラームアセットが内蔵されています。コントローラソフトウェアは、炉の簡単なセットアップと操作を可能にします。KOKUSAI DJ-1205V拡散炉とアクセサリーは、最高の機械技術、電気技術、ソフトウェア技術を組み合わせて、優れた品質の蒸着処理を行い、歩留まりを向上させます。それはユーザーに均一なプロセス温度、精密なフィルムの沈殿およびきれいな操作のための付加的な空気ろ過を提供します。豊富な機能、広い温度範囲、高性能を備えたDJ-1205Vは、優れた性能と生産性を提供し、高品質で信頼性の高い成膜結果を生み出します。
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