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TEGAL 701 #104111

TEGAL

701

Plasma in-line etcher, 4" Process capability: 4" wafer with 15 wafer/ hour Utilities: N2: 10—20 psi
150
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TEGAL 701 #293621568

TEGAL

701

Plasma in-line etcher.
145
TEGAL 701 #293621577

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701

Plasma in-line etchers.
131
TEGAL 701 #9000660

TEGAL

701

Plasma in-line etcher, 4" In-operable.
114
TEGAL 701 #9000653

TEGAL

701

Plasma in-line etcher, 4".
118