中古 TEGAL 701 #9000660 を販売中

TEGAL 701は、シリコンおよび化合物半導体ウェーハの精密加工用に設計されたエッチャー/エイサーです。高度なエッチング機能を備え、正確な表面構造からカスタムデバイスの加工および製造まで、幅広い用途に適しています。701は完全に自動化され、いくつかのモード選択肢があり、ユーザーはデバイスの正確な要件に合わせてエッチングを調整できます。ガスデリバリー装置を内蔵しており、プロセスガスを正確かつ正確に計測し、エッチング精度を最大化できます。このユニットは、フッ素、塩素、酸素、硫化水素などの処理ガスを使用して、最大1。2Pa （9mTorr）の1600Wおよびプラズマ圧力の電源を備えています。このシステムには手動で調整可能なワークピースプラットフォームが装備されており、ユーザーはエッチャーからウェーハを取り外すことなくウェーハを移動および位置決めすることができます。簡単なユーザーインターフェイスにより、温度に敏感なプロセスのための簡単な操作と精密温度制御が可能です。これにより、TEGAL 701は信頼性と正確なエッチングに最適です。エッチング機能に加えて、701は自動圧力制御ユニットを内蔵しており、真空動作の精度を高めています。自動化されたウェーハハンドリングマシンにより、簡単に正確なウェーハとダイポジショニングプロセスが可能です。エッチャーには、エッチング中のすべての温度を正確に監視する高度な温度センサーも装備されています。このツールはまた、低粒子カウント動作のために設計されており、クリーンで汚染のない環境を確保します。TEGAL 701のソフトウェアインターフェイスは、簡単に設定されている電力、圧力、流量など、エッチングに必要なすべてのパラメータを備えた簡単なセットアップと操作を可能にします。このユニットはまた、エッチング中に真空レベルを監視するための真空ゲージを備えています。全体として、701は強力で信頼性の高いエッチャーであり、幅広い処理タスクで精密に使用できるように設計されています。高度なエッチング機能、簡単な操作、内蔵の温度および圧力監視により、シリコンおよび複合半導体ウェーハの精密エッチングが必要な状況に最適です。