中古 TEGAL 701 #293621577 を販売中

TEGAL 701は、コスト効率の高いエッチングと灰の基板にメーカーが使用する高度な自動エッチングおよびアッシング機器です。エッチング/アッシュチャンバー、高周波ジェネレータ、圧力コントローラ、およびコンピュータ制御プログラマブルシステムで構成されています。エッチング/アッシュチャンバーには、基板が収納され、自動コンベアが装備されています。それに8つの主作動させた自動化されたドアロックがあり、オペレータ保護を提供します。また、エッチング/灰の操作中に正しい雰囲気とプロセスパラメータを保証します。高周波ジェネレータにより、エッチャー/アッシャーはDCまたはRF電源下で動作し、正確なパラメータと適切な条件に調整して最適な結果を得ることができます。701はカスタマイズ可能な電圧スイッチング機能を備えており、電流と電圧出力を正確に制御することができます。圧力コントローラは圧力の正確な監視と制御を可能にし、エッチング/灰の速度とプロセス時間を正確に制御することができます。一方、コンピュータ制御のプログラマブルシステムは、ユーザーがすばやく簡単に所望のエッチング/アッシュパラメータを選択し、プロセスを追跡し、結果を報告することができるユーザーフレンドリーなインターフェイスです。オペレータ調整可能なデジタルタッチスクリーンディスプレイと速度制御により、TEGAL 701は温度、圧力、エッチング/灰のサイクルを正確に調整できます。701エッチャー/アッシャーも非常にエネルギー効率に優れています。少量の反応ガスとエネルギーしか使用せず、あらゆる種類の基板を処理するための経済的に魅力的な処理ソリューションです。また、保護者の安全監視システムが装備されており、リアルタイムでプロセスを監視、記録、アラームします。TEGAL 701は、効率的で正確で信頼性の高いインラインエッチングおよびアッシングにより、さまざまな業界のメーカーのニーズに対応する高度な自動エッチングおよびアッシングソリューションを提供します。