中古 TEGAL 701 #9000653 を販売中

TEGAL 701は、高解像度マイクロエレクトロニクスに使用されるエッチャー/アッシャーです。半導体基板から不要な材料を除去するための強力なツールであり、細かく精密なエッジで細かいパターンをエッチングするためによく使用されます。この装置は、高出力レーザー源を使用して焦点光ビームを作成し、基板に向けられます。このビームは、基板に化合物を堆積させ、材料を蒸発させて小さな穴やマイクロエッチングパターンを作成するために使用されます。701は、長さ1200 mmまでの大きな基板に対応するように設計された光学テーブルを備えています。0。3 μ mの解像度までエッチングすることができ、エッチング処理を正確に制御できます。機械は完全に自動化されており、高速で信頼性の高いエッチングとアッシングプロセスを可能にします。また、温度制御されたプロセスチャンバーを備えており、サイクル全体で均一な温度を維持するのに役立ち、エッチングプロセスの再現性が向上します。また、基板をすばやく簡単にスキャンできるオートフォーカスのオプションも提供しています。このシステムはまた、エッチング周期の開始と終了時にトレース電圧アークを測定するアーク監視ユニットを備えています。これにより、基材がエッチングされなくなり、損傷のリスクが低減されます。このマシンはまた、詳細なポストプロセス分析を可能にし、ユーザーにエッチングプロセスに関する詳細な情報を提供します。このツールにはTEGAL 701の内部ソフトウェアも含まれており、プロセスを監視および制御するために使用することができます。これには、パラメーターの自動調整が含まれており、ユーザーはエッチングプロセスを微調整できます。さらに、診断機能を提供し、ユーザーは問題を迅速かつ効果的に特定して対処することができます。701エッチャー/アッシャーは、研究開発部門での使用のために設計されています。エレクトロニクス、医療、自動車製造など、さまざまな業界の厳しい規格にエッチングされた機能を製造するのに最適です。高精度のエッチング機能と自動化されたプロセス制御により、複雑で高品質な部品を作成するための貴重なツールです。