中古 TEGAL 701 #293621568 を販売中

TEGAL 701
ID: 293621568
Plasma in-line etcher.
TEGAL 701は、TEGAL Reliability Engineeringによって製造されたエッチャーおよびアッシャーです。半導体およびその他の小型電子部品の精密エッチングおよびアッシング用に設計されています。701は、エッチングおよびアッシングプロセスの自動化、高スループット、連続ローディング、プログラム可能、および正確な制御を提供する高度な機器です。内蔵のマイクロプロセッサは、ソフトウェアプログラマブルなロジック、ユーザー定義のプロファイル温度範囲、パルスパラメータ、ランピングおよびドウェル時間を提供します。エッチャー/アッシャーは、2つの加熱ステーションから6つの温度範囲と9つのプログラム可能なレシピで構成でき、各エッチング/灰プロセスのカスタムプロファイリングと微調整が可能です。それは2つの水晶タングステンハロゲン(QTH)ランプの発熱体と+/-0。5°Cの測定可能な温度差を持つ精密温度制御機構が装備されています。TEGAL 701は人間工学に基づいたデザインで、操作が簡単で、直感的でユーザーフレンドリーなGUIを備えた7 インチカラーLCDタッチスクリーンを備えています。ユーザーはまた、包括的なデータロギングとエラー報告にアクセスできます。さらに、すべてのプロセスパラメータと設定は、RS-232ポートを介してリモートで設定できます。エッチャー/アッシャーには高度な安全システムがあり、プロセスが失敗したときに自動ガスシャットオフシステムと酸素センサーを備えており、低酸素レベルによるエッチング/灰の欠陥の前に警告を提供します。701には、自動マスク除去、基板マッピング、スペアパーツタブなど、さまざまな機能も含まれています。結論として、TEGAL 701は、半導体やその他の小型電子部品の効率的なエッチングとアッシングのための完全な機能を提供する信頼性の高いエッチャーとアッシャーであり、エッチング性能の高い基準を設定します。ユーザーフレンドリーなGUI、正確な温度制御、自動ガスシャットオフシステム、包括的な安全機能により、精密で精密なコンポーネントのエッチングとアッシングに最適です。
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