中古 TEGAL 701 #104111 を販売中

TEGAL 701は、小型ウェーハや基板上の微細構造を実現するために設計された、高解像度のコンピュータ制御式ドライエッチャーです。幅広いエッチングプロセスに対応できる汎用性の高いエッチングツールで、研究および生産アプリケーションに最適です。701は高度なソフトウェアシステムを使用してエッチングプロセスを監視し、ユーザーはエッチングパラメータをカスタマイズして最適な結果を得ることができます。エッチング速度、基板温度、エッチング角度、ガスフローを制御するための幅広いオプションを備えています。さらに、高度な自動圧力制御（APC）システムは、使用される化学物質に関係なく、チャンバー内の圧力が一定であることを保証します。TEGAL 701はまた、ウェットエッチングからドライエッチングまで、さまざまなエッチング工程の間でウェーハを高効率かつ安全に転送する自動クイックチェンジオーバー（QCO）機能も提供しています。これにより、エッチング速度の安定性を高めるために余分な時間を費やすことなく、一貫して高品質のエッチング性能を保証します。701はまた、シリコン、金属、セラミックス、半導体材料などの様々な材料のプラズマエッチングのための高い柔軟性を提供しています。エッチャーには、特別に設計された熱プラズマトロン源が含まれており、プラズマ損傷を最小限に抑えて最大1000°Cの温度に達することができます。さらに、低濃度、不活性ガス混合物、高圧純粋なガスエッチングを備えた低圧真空エッチングも提供します。TEGAL 701はディープエッチングも可能で、垂直分解能は250nm、水平分解能は75nmです。さらに、内蔵のリアルタイムウェーハ追跡システムにより、ユーザーはエッチング用のウェーハを正確かつ正確に配置できます。全体として、701は強力で柔軟性があり、信頼性の高いドライエッチャーで、幅広いエッチングプロセスに対応しています。高度な制御ソフトウェア、自動化されたクイックチェンジオーバー、ハイエンドのエッチング機能により、研究と生産の両方のニーズに最適です。