中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247833 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、高度な研究開発のための最先端のエッチングと灰の処理能力を提供する高性能の化学エッチング/アッシャーです。スケールダウンデバイス製造プロセス向けに特別に設計されており、直径0。5〜6インチの基板を加工することができます。GASONICS Aura 2000は、エッチングとアッシングのプロセスを正確に制御し、ユーザーが必要な結果を達成するために電力とガスの組成を正確に調整することができます。この柔軟性は、高度なプロセス制御技術に裏付けられており、ユーザーはエッチングとアッシング中にプロセスパラメータを監視することができます。NOVELLUS Aura 2000の高度なデザインは、エッチングとアッシングに必要な時間を最小限に抑えます。高精度ノズルアセンブリ、高度なプロセス制御技術、高速焼成時間、および大径ウェーハをサポートする能力により、多くのアプリケーションに理想的なエッチャー/アッシャーとなります。Aura 2000も再現性が高いため、複数のパスで同じ結果を自信を持って再現できます。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000には、ウェーハの汚染からの保護を保証する高度なロードロック技術も搭載されています。光学フォトアイセンシングとプロセスオートメーションを提供し、ウェーハ基板の異なるサイズと形状に対応する調整可能なロードロックチャンバーを備えています。GASONICS Aura 2000は、効率的な操作と使いやすさのために設計されています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）とグラフィックプロセス監視機能を備えているため、エッチングとアッシングパラメータを素早く調整して目的の結果を得ることができます。その低重量は、エッチャー/アッシャーをある場所から別の場所に移動する必要があるかもしれない人のための追加の利点です。全体として、NOVELLUS Aura 2000は、高度なプロセス制御技術を備えた最先端のエッチングおよび灰処理機能を提供する高性能エッチャー/アッシャーです。高速な発射時間、再現性、および大型基板に対応する能力を備えているため、さまざまな先進的な研究開発アプリケーションに最適です。