中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9078051 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は半導体産業で使用するために設計されたエッチャー/アッシャー装置です。高度なパターンを1桁のミクロンにエッチングすることができ、最も精度の高いシステムの1つです。GASONICS Aura 2000は、超高真空チャンバーに電子サイクロトロン共鳴（ECR）を使用して、非常に正確なエッチング結果を達成します。このシステムは、2。45 GHzまたは2450 MHzの周波数の2つの異なるECRエッチング機能を備えています。NOVELLUS Aura 2000は、基板表面のダメージポイントを低減し、エッチング結果を向上させる低周波プラズマ洗浄機能も備えています。このユニットは直感的なコントロールインターフェイスを備えており、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によりエッチング処理を簡単に制御できます。Aura 2000には、複数のレシピを複数の基板に設定できる自動レシピマシンがあります。また、イーサネット接続または光ファイバリンクを介してリモートアクセス機能もサポートします。さらに、このツールは、SCSI-2やRS-232などの標準的な業界インタフェースが可能です。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000の機械部品の精度により、高度なパターンや機能のエッチングに適しています。リニアステージは3軸で基板を正確に動かすことができ、電動質量流量と真空システムは高い安定性と精度で動作することができます。また、エッチングプロセスの精度を向上させるための非常に精密な照準モデルを備えています。GASONICS Aura 2000の高度なプロセスレシピにより、基板の要件に応じてエッチング処理を最適化できます。これにより、ユーザーは妥協することなく、さまざまな種類の材料をエッチングする柔軟性が得られます。この装置は自動調整機能も備えており、異なる基板のエッチングパラメータを最適化するのに役立ちます。全体的に、NOVELLUS Aura 2000は、高精度のエッチング結果を達成することができる高度なエッチャー/アッシャーシステムです。このユニットは、高精度の照準機と高度なプロセスレシピだけでなく、直感的なコントロールインターフェイスとリモートアクセス機能を備えています。その高度な機能と機能により、半導体業界のアプリケーションで高度な機能をエッチングするための理想的な選択肢です。