中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654417 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、集積回路の製造に使用される軽量で深い反応イオンエッチング/アッシャー装置です。メタライゼーション層、接点およびビア、その他の金属または半導体構造および金属線の形状を作成、変更、最適化するために使用されます。メタルラインやパターンを超微細に加工するための高度なツールであり、金属構造の精度と寸法制御が優れています。高速気化装置を採用し、液体金属溶液を基板表面に供給する蒸気に変換します。気化された金属粒子は細かく制御された方法で堆積され、組み込みのプリクリーン機能はフォトレジストの接着を最適化し、結果的な汚染の可能性を最小限に抑えるのに役立ちます。金属層が形成されると、基板はプラズマリアクターに配置され、圧力、電力、ドウェル時間などの調整可能なパラメータによって反応イオンエッチング処理を最適化することができます。GASONICS Aura 2000は優れた均一性と選択性を誇り、厚い金属線と薄い金属線の両方を同じパターンでエッチングできる「テーパー加工」に最適です。また、3次元物体の多層金属化を可能にする透明絶縁材のエッチングも可能です。このユニットは、柔軟なプロセスレシピと統合データロギングを提供するGASONICS TM 10Xオペレーティングプラットフォームを搭載しており、オペレータにプロセスの優れた制御と得られた構造の詳細な評価を提供します。それはまた機械の便利な制御そして監視のための16 "LCDのモニターを含んでいます。NOVELLUS Aura 2000は、優れたエッチング結果と清潔さでよく知られています。堅牢な構造により、反応イオンエッチング工程で使用される非常に高い温度でも信頼性の高い動作と安定性を保証します。その非常に低い維持および放出率は利用できる最も環境に優しいエッチング・システムの1つを作ります。